物理分析
クライオFIB加工
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大気非暴露での微細構造解析
- 大気非暴露環境下の試料移動・FIB加工により、リチウムイオン二次電池材料やネオジム磁石の微細構造解析が可能です。
- クライオステージにより、ダメージの入りやすいポリマー、化合物半導体のFIB加工も可能となります。
- TEM、SEM、EPMA、EBSP用の試料調整が可能です。
- 低真空モード/低温でのSEM観察が可能です。
試料調整
- グローブボックス中でハンドリング
- トランスファベッセルで搬送
- クライオシステム搭載デュアルビームFIBで加工
SEM観察
試料調整
-
クライオシステム搭載デュアルビームFIB加工 - Ar雰囲気
-
グローブボックス(Ar雰囲気)中でのハンドリング - Ar雰囲気
TEM観察
- 専用ホルダーで観察（非暴露用・クライオ用）
TEMへのセッティング
(非暴露トランスファーホルダー)-
HAADF像 
EELS マッピング 
TEM観察：充電したLiイオン二次電池用Si負極材の例
作業の流れ
関連ページ・関連リンク
- 鉄粉カイロの性能評価のための成分配合比及び鉄の酸化状態分析 [事例集PDF]
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