クライオFIB加工

大気非暴露での微細構造解析

  • 大気非暴露環境下の試料移動・FIB加工により、リチウムイオン二次電池材料やネオジム磁石の微細構造解析が可能です。
  • クライオステージにより、ダメージの入りやすいポリマー、化合物半導体のFIB加工も可能となります。
  • TEM、SEM、EPMA、EBSP用の試料調整が可能です。
  • 低真空モード/低温でのSEM観察が可能です。

試料調整

SEM観察

試料調整

クライオシステム搭載デュアルビームFIB加工 クライオシステム搭載デュアルビームFIB加工
Ar雰囲気
グローブボックス(Ar雰囲気)中でのハンドリング グローブボックス(Ar雰囲気)中でのハンドリング
Ar雰囲気

TEM観察

  • 専用ホルダーで観察(非暴露用・クライオ用)
TEMへのセッティング(非暴露トランスファーホルダー) TEMへのセッティング
(非暴露トランスファーホルダー)
HAADF像 HAADF像
EELS マッピング EELS マッピング
TEM観察:充電したLiイオン二次電池用Si負極材の例

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JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部