FIBとULV-SEMの組み合わせによる複合粒子・フィラーの3D観察

サブミクロンサイズの微粒子・3次元構造体・異物の立体構造や存在部位を可視化

  • 微粒子・フィラーが分散された樹脂・高分子材料・金属材料・セラミックにおける分散粒子の分布・形態を明らかにします。
  • 複雑な3次元構造を持つ材料(3次元構造のデバイス、結晶粒界相、薄膜・表面処理、セラミックス・金属の複数相分布、ボイド・空隙・ポア(形態・連結状態)の立体構造)を明らかにします。
  • 薄膜・表面処理中の異物の存在場所の特定が可能です。

3D観察例

FIB搭載型SEM(デュアルビーム走査電子顕微鏡)により、FIBでの断面加工とSEM観察を繰り返し、画像処理することで、樹脂塗膜中に分散されたフィラー(TiO2、BaSO4)の立体的な分散状態が観察できます。

FIB加工+断面SEM観察

FIB加工+断面SEM観察
塗膜中のフィラーの観察

画像の3次元構築

反射電子像で3D化
フィラーの抽出
BaSO4相の抽出
抽出結果から求めた各相の充填率
体積 充填率
Base 6.54μm3 63.6%
TiO2 2.67μm3 26.0%
BaSO4 1.07μm3 10.4%

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