3次元計測走査電子顕微鏡(3D-SEM)

3次元計測走査電子顕微鏡の概要

3次元計測走査電子顕微鏡(3D-SEM)では、10nm程度の高さ分解能で、表面の凹凸を定量的に評価します。図では、すずめっき鋼板表面の粗さ測定結果を示します。EDXマッピングと組み合わせると、反射電子像(BSE像)の白い島状部分にSnが多く、Feの多い部分より1.5ミクロン程度高いことがわかります。

図

作業の流れ

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JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部