複合酸化物釉薬粒子のULV-SEM-EDX分析

分析事例

ULV-SEM(極低加速電圧SEM)のEDX(エネルギー分散型X線分析)を用いると、ナノ粒子の表面形状の観察に加え、ナノ粒子の組成分布が測定できます。
 SEM像により、1μmの大きさの釉薬球状の粒子上に数10nm程度の別の粒子が付着している様子がわかります。EDXマッピングにより、1μmの粒子はSiO2系のものであり、数50nm程度の粒子はTiO2系のものであることがわかります。

釉薬微粒子の解析例
釉薬微粒子の解析例
(左:ULV-SEM像 中:EDXマッピング(SiO2) 右:EDXマッピング(TiO2))

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