材料試験

レーザー顕微鏡

電子線の影響を受けやすい樹脂や透明素材にも対応した表面性状計測・観察をいたします。

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レーザー顕微鏡は、凹凸の激しい表面やレプリカフィルムなどの観察を容易にできます。FE-SEMと同様な被写界深度を有しながら、試料の前処理が一切不要なため、調査解析の時間短縮が図れます。また、ミクロ組織観察や表面粗さ測定等のデジタルデータが得られるため、パソコン上での画像処理やデータ解析が可能です。

レーザー顕微鏡の概要

レーザー顕微鏡は、サンプルの直接観察が可能で、従来の顕微鏡よりも凹凸の激しい表面の撮影が可能になっただけでなく、充実した表面粗さ測定機能や形状測定機能を用いての表面形状解析ができます。画像およびデータをデジタルで保存できるので、調査結果を電子データとしてお渡しできます。
形状測定レーザマイクロスコープ

透明なレプリカフィルム^※のサンプルでも前処理不要で観察可能です。レプリカフィルムの測定結果から表面状態の3次元・カラースケール表示をすることでより分かりやすい結果をご提供できます。

近年、様々な鋼構造物の劣化診断方法として表面性状調査が増加しており、一例として、余寿命診断におけるレプリカフィルム^※での金属組織やボイド観察があります。

レプリカフィルムとは
アセチルセルロースフィルムを被観察部表面に密着して金属表面の凹凸を転写したものです。光学式顕微鏡では被写界深度が浅く観察が困難なため、一般的には焦点深度の深いSEMを用いますが、煩雑な前処理等を要し観察までに時間がかかります。しかし、本レーザー顕微鏡では、FE-SEMと同様な被写界深度を有し、前処理が一切不要なため、短時間で鮮明な観察ができるようになります。

レーザー共焦点光学系により測定する正確な焦点位置のレーザー光量とCCDカメラによるカラー情報を同時にとらえることで実現した「超深度」画像は、実像に忠実なリアルカラー3D（3次元表示）で、他に類のない新しい観察・測定が可能です。

平均段差

2つの領域A, Bを指定し、その領域内の平均高さデータの差から段差を計測する
表面粗さ

指定領域内の表面粗さを計測する（Ra, Ry, Rz, tp）
線粗さ

直線を指定し、その線上の線粗さを計測する。また、粗さ曲線上のある区間を指定することによって、その区間内の線粗さを計測する（Ra, Ry, Rz, Sm, S, tp）
面積

指定した領域の面積を計測する
XY計測

2線間のX, Y距離、対角の距離を計測する
平面計測

2点間距離、半径、角度、円心間、平行線、垂線、カウント数を計測する
膜厚計測

膜厚を計測する
表面積・体積計測

指定した領域の表面積・体積を計測する