JFEテクノリサーチの
フェロー紹介（佐藤 馨）

Topics 低速走査電子顕微鏡の先進的な使い方（ドイツ　ZEISS社のweb上でビデオ紹介：英文）

今日のSEM（走査電子顕微鏡）は、複数の検出器（複数の二次電子検出器、複数の反射電子検出器）を搭載することで、従来のSEMで観察していた表面の凸凹の観察画像を超え、様々な情報（物質種、結晶情報など）を反映した観察を可能にしています。
SEMの最大活用には、材料に合わせた適切な観察条件（"sweet spot"）を選択することが必須です。このセミナーでは、SEMから豊かな情報を得るため、像形成の原理を説明しその理解に基づき実際に観察した応用例を紹介しています。

SEMの最大活用には、材料に合わせた適切な観察条件（"sweet spot"）を選択することが必須です。このセミナーでは、SEMから豊かな情報を得るため、像形成の原理を説明しその理解に基づき実際に観察した応用例を紹介しています。

また、当社の日本語サイトでは、2020年に当社の佐藤馨フェローが3回にわたり講師を務めました"ZEISS Academy ONLINE"の模様を収録したWeb動画（Webinar）を公開中です。

• 第1回　最新の走査電子顕微鏡 ―"Sweet spot"を理解して像情報を最大活用―
• 第2回　反射電子像が持つポテンシャル ―取込み角度制御で情報を取分け―
• 第3回　Sweet spot下での像観察と元素分析の両立 ―現状のSEMの課題についても一言―

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オックスフォード・インストゥルメンツ社のWebサイトに紹介記事掲載

弊社、フェローの佐藤と中村（SEM技術担当）が、EDX装置の世界的に有力なメーカであるオックスフォード・インストゥルメンツ社から、SEM搭載用のEDX装置（Extreme検出器）導入事例の取材を受けました。この記事が、オックスフォード・インストゥルメンツ社Webサイトに掲載されていますので、ご興味いただける方は、リンク先でご覧ください。

オックスフォード・インストゥルメンツ社　Webサイトへ

プロフィール

佐藤 馨さとう　かおる
物理解析、Ph.D

1981年　東北大学大学院修了
1986年～1988年　英ケンブリッジ大学材料科学学科
1989年　英ケンブリッジ大学大学院博士課程修了　Ph.D
2005年～2011年　JFEスチール（株）分析・物性研究部長
2011年～2016年　JFEスチール（株）主席研究員
2016年～　JFEテクノリサーチ（株）フェロー

日本顕微鏡学会 電子顕微鏡大学講師（2012年度～2022年度）
科学技術振興機構（研究成果展開事業）「コンパクト中性子源とその産業応用に向けた基盤技術の構築」アドバイザ（終了）
九州大学産学連携センタ客員教授（2004年～2008年）
　ほか多くの大学で非常勤講師を歴任
文部科学省　マテリアル先端リサーチインフラセンター（ARIM）専門委員

受賞歴

• 日本顕微鏡学会学会賞（瀬藤賞）
• 大河内記念賞
• 日本鉄鋼協会　野呂賞、西山記念賞、俵論文賞
• 日本金属学会　学術貢献賞、論文賞
• 表面技術協会　論文賞

代表論文

• 反射電子像を用いたベイナイト鋼中のマルテンサイトの選択可視化と機械学習を活用した相分率評価：井本 浩史, 佐藤 馨, 小形 健二：鉄と鋼
  ⇒論文閲覧（J-STAGE）
• "Characterization of complex phase steel using backscattered electron images" , Sato K, Sueyoshi H and Yamada K:Microscopy, 64(2015)297.
• 鉄鋼中のナノ複合炭化物の電子顕微鏡解析: 佐藤 馨, 仲道 治郎, 山田 克美: 顕微鏡、40(2005), p183.
  ⇒論文閲覧（J-STAGE）
• 低加速電圧走査電子顕微鏡の鉄鋼表面解析への応用：佐藤馨, 名越正泰, 河野崇史：鉄と鋼、Vol.93,　No.2、（2007）169.
  ⇒論文閲覧（J-STAGE）
• 「中性子小角散乱法による鉄鋼中ナノ析出物のサイズ評価」：安原久雄，佐藤馨，田路勇樹，大沼正人，鈴木淳市，友田陽: 鉄と鋼, 96 (2010) , 545.
  ⇒論文閲覧（J-STAGE）
• 低加速SEM-EDSを用いた表面解析における超伝導遷移端センサーの優位性：野呂 寿人,佐藤 馨,田中 啓一：表面科学, 31, 610-615 (2010)
  ⇒論文閲覧（J-STAGE）
• 中性子小角散乱法とその材料開発へのインパクト：大沼 正人, 佐藤 馨：精密工学会誌, 79, 826-830 (2013).
  ⇒論文閲覧（J-STAGE）
• 「最新の走査電子顕微鏡が与える豊かな像情報　―鉄鋼材料の解析を例として― 」　佐藤 馨：顕微鏡, Vol 50, No 3, 173-179. (2015)
  ⇒論文閲覧（日本顕微鏡学会）
• Bringing neutrons into industry（Physics World 2017年10月号　Neutrons for Industry 特集号）(International Conference on Neutron Scattering　2017 の招待講演の内容）
  ⇒論文閲覧（Physics World）
• Low-Voltage Scanning Electron Microscopy as a Tool for Surface Imaging and Analysis of Practical Materials (Invited Paper) Masayasu Nagoshi, Kaoru Sato, and Tomohiro Aoyama...129 JSA Vol.24 No.2 (2017) 129－135.
  ⇒論文閲覧（表面分析研究会）
• Low-voltage SEM contrasts of steel surface studied by observations and electron trajectory simulations for GEMINI lens system Kohei Tandokoro Masayasu Nagoshi Takashi Kawano Kaoru Sato Katsushige Tsuno Microscopy, dfy030, https://doi.org/10.1093/jmicro/dfy030
  ⇒論文閲覧（Oxford University Press）
• SEM像コントラストを活用したCr-Mo鋼中微細析出物の同定と相別分布の可視化: 中村貴也 佐藤馨 名越正泰 小形健二 北原保子 櫻田委大: 日本金属学会誌（J. Japan Inst. Met. Mater.)第82巻?第5号（2018）169-175.
  ⇒論文閲覧（J-STAGE）
• 鉄鋼中島状マルテンサイトの可視化技術：井本浩史，小形健二，佐藤　馨，津山青史：まてりあ (Materia Japan) 第58巻 第2号 (2018) p80
  ⇒論文閲覧（日本金属学会・会員のみ閲覧可）
• SEMの像コントラストを活用したCr-Mo鋼中微細析出物の同定と相別分布の可視化：中村貴也，佐藤　馨，名越正泰，小形健二，北原保子，櫻田委大：まてりあ (Materia Japan) 第58巻 第2号 (2018) p85
  ⇒論文閲覧（日本金属学会・会員のみ閲覧可）
• 物理分析入門-初めて使う人のために（2013年4号～2014年5号掲載）「物理解析の基礎と解析手法の選び方」　佐藤　馨：ふぇらむ　18, 174-181, (2013)
  ⇒講義動画視聴（日本鉄鋼協会・会員のみ視聴可）
• 物理分析入門-初めて使う人のために（2013年4号～2014年5号掲載）「透過電子顕微鏡の原理と得られる情報」　山田克美：ふぇらむ　18, 464-471, (2013)
  ⇒講義動画視聴（日本鉄鋼協会・会員のみ視聴可）
• 「中性子小角散乱法の鉄鋼微細組織解析への活用 － 微細析出物のサイズ決定」　佐藤　馨：ふぇらむ　21, 244-248, (2016)
  ⇒論文閲覧（日本鉄鋼協会・会員のみ閲覧可）