元素分析

微小部元素分析

• マイクロビームアナリシスにより、微小部の元素分析に対応いたします。

  • 電子線マイクロアナライザ（EPMA）、走査電子顕微鏡によるエネルギー分散型X線分析（SEM-EDX）により、数μm以下の微小部の定性分析、定量分析マッピングが可能です。
  • 電界放出型電子線マイクロアナライザー（FE-EPMA）により、100nmの微小部の定量分析が可能です。極低加速電圧走査顕微鏡によるエネルギー分散型X線分析（ULV-SEM-EDX）では、30nmの分析ができます。
  • 透過電子顕微鏡（TEM）に搭載したエネルギー分散型X線分析（EDX）、電子エネルギー損失分光分析（EELS）により、数nm以下の微小部の定性分析、定量分析マッピングが可能です。
  • 収差補正型走査透電子顕微鏡（Cs補正STEM）では、0.1nmの極微小原子スケールでの分析が可能です。
  • 電子エネルギー損失分光分析（EELS）では、元素の化学結合状態の分析が可能です。プラズマ振動やバンド間遷移を用いた状態分析も可能です。

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電子線マイクロアナライザ（EPMA）、エネルギー分散型X線分析（EDX）

表面化学状態分析

各種機器を活用して、物質の表面状態の分析をお引き受けいたします。

AES(オージェ電子分光法)、XPS(光電子分光法)、SIMS(二次イオン質量分析法)、GDS(グロー放電発光分光法)などによる表面分析は、1nmの材料極表面の定性分析・定量分析が可能です。

イオンスパッタリングと組み合わせた元素の深さ方向分析が可能です。

X線光電子分光法（XPS）では元素の化学結合状態の分析が可能です。元素によってはAESやEPMAでも状態分析が可能です。

ラマン分光、FT-IR、NMR、質量分析により、 有機物の構造解析 が可能です

TEM-EDX / EELS

表面分析

分子結合状態分析

バルクの化学状態分析

各種機器を活用して、バルクとしての物質の状態分析を行います。

バルク平均構造の化学状態分析