膜厚分布測定装置FiDiCa(フィディカ)

膜厚分布を高速・高精度に測定・可視化

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FiDiCa FiDiCa ※音声はミュート設定になっております。
  • 半導体やフィルム、液膜などの膜厚分布を高速・高精度にマッピングできる、2次元分光干渉膜厚計
  • 100nm~150umまで、幅広い膜厚レンジの測定に対応
  • 分光干渉法を用いた高い測定精度
  • 独自アルゴリズムを用い、400万点の測定データを数分で高速演算
  • オフラインの卓上装置から、インライン機までカスタマイズ可能

従来法と膜厚分布測定装置FiDiCaの比較

<従来法>エリプソメトリ/分光干渉膜厚計   膜厚分布測定装置FiDiCa
 
1万点 測定点数 400万点
数時間 測定時間 数分
X-Y2軸スキャン スキャン 1軸

膜厚分布測定装置FiDiCa 装置製作事例と主な仕様

200mmウェハ測定システムの一例

ステージサイズ 200mm×200mm  
計測可能層数 1層 オプションにて4層まで対応可
空間分解能 約100um  
測定可能膜厚 100nm~3um 薄膜用分光器
1um~150um 厚膜用分光器
膜厚精度 膜厚の1%以下 下限3nm
繰り返し精度 0.5%以下 同点を繰返し測定した際の測定誤差
スキャン時間 約1分  
膜厚演算時間 約2分  

インライン ロールtoロール組み込み機の一例

サンプルサイズ 幅 2000mm  
計測可能層数 1層 オプションにて3層まで対応可
空間分解能 約 1mm  
測定可能膜厚 1um~150um 厚膜用
膜厚精度 膜厚の1%以下  
繰り返し精度 0.5%以下 同点を繰返し測定した際の測定誤差
測定時間 10 Line/秒 測定+演算
適用 PETフィルム、位相差フィルム、保護フィルムなど多種
装置構成例

装置構成例

膜厚分布測定装置FiDiCa(フィディカ)測定事例

シリコンウエハ

シリコンウエハ 外観写真

外観写真

シリコンウエハ 膜厚分布図

膜厚分布図

ポリカーボネートコート(DVD)

ポリカーボネートコート 外観写真

外観写真

ポリカーボネートコート 膜厚分布図

膜厚分布図

OHPフィルム

OHPフィルム 外観写真

外観写真

OHPフィルム 膜厚分布図

膜厚分布図

ニュートンリングの空隙

ニュートンリングの空隙 外観写真

外観写真

ニュートンリングの空隙 膜厚分布鳥瞰図

膜厚分布鳥瞰図

パターン付きウェハの膜厚分布測定

パターン付きウェハの膜厚分布測定

潤滑油の膜厚分布

潤滑油の膜厚分布

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