分析
JFEテクノリサーチの物理分析
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JFEテクノリサーチの物理分析へのアプローチ
JFEテクノリサーチは、物理解析・ナノ材料解析の手法を用い、各種材料・製品・部品ごとに、マクロから原子スケールまでの微細構造を、分析、解析いたします。
材料に合わせた分析方法をご紹介し、最適な解析技術をご提供いたします。
物理分析に使われる機器類、手法は、急速な進歩を遂げています。分析手法から見た物理分析についてもご紹介いたします。
ラボツアー
川崎地区SEM施設(JFE京浜ビル Think研究C棟)のラボツアーをご覧いただけます。
材料分野から見る物理分析
物理解析・ナノ材料解析の役割
開発・研究の方向付け、故障・不具合解決、工程管理のためには、材料の物性を正確に把握したうえで使用環境を考慮して、現象を考察する事が必要です。
当社は、物性の把握、現象の考察を通して、対応についてのご提案までをお受けしています。
STEP1.物性の把握
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化学分析、物性評価からわかること
- 強度:組織・方位
- 腐食・触媒・電池・摩擦:電気化学反応・表面反応
- 電子・電気物性:電子状態
- 磁性:組織・方位、磁区
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物理分析によりわかること
- 形態観察:組織(マクロ~ナノ)、粒径分布
- 定性・定量分析:平均・局所組成
- 状態分析:化合物種・結晶相
- マッピング・深さ方向分析:組成・化学状態分布
材料に合わせた解析技術
材料ごとで、必要な物性を発現する構造は異なります。その構造にあわせた最適な解析技術を提供します。
分析手法から見る物理分析
金属、セラミックス、高分子などの薄膜、微粒子を用いた各種製品、複合材料の断面・界面構造や形態を、ナノスケールの分解能で観察、分析いたします。断面・界面構造観察用の精密な試料調整も受託いたします。
制御される構造のサイズ、分析する手法は材料毎に異なります。
最適な形態観察、元素分析、表面化学状態分析、結晶構造解析に最適な解析技術を提案します。
ナノ材料解析の実用的分析厚さと検出濃度範囲
各種分析手法の実用的な分析厚さと、検出濃度範囲は限られています。一例を示します。
材料ごとに異なる顕微鏡法の選択
分析したい対象物によって、構造が異なりますので、分析手法も異なります。
物理分析の主な評価項目と解析手法(当社保有技術)
形態観察
略号 | 英語名称 | |
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収差補正型走査透過電子顕微鏡 | Cs corrected STEM | Transmission Electron Microscopy with Cs corrector |
透過電子顕微鏡 | TEM | Transmission Electron Microscopy |
極低加速電圧走査電子顕微鏡 | ULV-SEM | Ultra Law Voltage Scanning Electron Microscopy |
走査電子顕微鏡 | SEM | Scanning Electron Microscopy |
デュアルビーム走査電子顕微鏡 | FIB-SEM | Focused Ion beam - Scanning Electron Microscopy |
表面化学、状態分析
略号 | 英語名称 | |
---|---|---|
X線光電子分光法 | XPS | X-ray Photoelectron Spectroscopy |
オージェ電子分光法 | AES | Auger Electron Spectroscopy |
電子線マイクロアナリシス | EPMA | Electron Probe Micro-Analysis |
電界放出型電子線マイクロアナリシス | FE-EPMA | Field Emission-Electron Probe Micro-Analysis |
電子エネルギー損失分光法 | EELS | Electron Energy Loss Spectroscopy |
昇温熱脱離分析法 | TDS | Thermal Desorption Spectroscopy |
ラマン散乱分光法 | RSS | Raman Scattering Spectroscopy |
フーリエ変換赤外分光法 | FT-IR | Fourier Transform Infrared Absorption |
レーザーアブレーション誘導結合プラズマ質量分析 | LA-ICP-MS | Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry |
評価項目:結晶構造解析
略号 | 英語名称 | |
---|---|---|
X線回折法(リートベルト解析可能) | XRD | X-ray Diffraction |
電子回折 | ED | Electron Diffraction |
後方散乱電子回折 | EBSD/EBSP | EBSD:Electron Backscatter Diffraction EBSP:Electron Backscatting Pattern |
評価項目:組成分析
略号 | 英語名称 | |
---|---|---|
誘導結合プラズマ発光分析 | ICP-AES | Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry |
誘導結合プラズマ質量分析 | ICP-MS | Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry |
近赤外-近紫外領域の分光光度計 | UV-VIS | UV-VIS |
原子吸光分析法 | AAS | Atomic Absorption Spectrometry |
ガスクロマトグラフ質量分析 | GC-MS | Gas Chromatograph Mass Spectrometry |
液体クロマトグラフ質量分析 | LC-MS | Liquid Chromatograph Mass Spectrometry |
評価項目:物性評価
略号 | 英語名称 | |
---|---|---|
レーザー回折粒度分布計測 | ||
熱分析 | TA | Thermal Analysis |
熱重量分析 | TG | Thermogravimetric Analysis |
示差熱分析装置 | DTA | Differential Thermal Analysis |
示差走査熱量分析 | DSC | Differential Scanning Calorimetry |
比表面積測定、細孔径分布(BET法) |
評価項目:作業環境分析・調査
略号 | 英語名称 | |
---|---|---|
TEMによるナノ粒子濃度計測 |
当社の論文および学会発表例
論文・学会 | 発表先 | 発表年 | タイトル |
---|---|---|---|
論文 | 表面技術 | 2013 | 溶融亜鉛めっき鋼板の合金化挙動に及ぼす鋼板前処理の影響 |
論文 | 群馬県分析研究会会報 | 2013 | 電子顕微鏡を用いた材料のナノ構造観察の最前線 |
国際会議 | 6th International Symposium on Practical Surface Analysis |
2013 | "Damage of ZrO2 by Argon Ion Bombardment" |
国内学会 | 日本分析化学会 高分子材料懇話会 |
2008 | "極低加速電圧SEMによる材料極表面の新しい解析法" |
国内学会 | 2009年表面分析研究会 第29回研究会 |
2009 | 新しい表面観察としての極低加速電圧SEM |
国内学会 | 2009年異物研究会 第1回フォーラム |
2009 | 異物分析、不具合調査のための物理解析技術 |
国内学会 | 2009年日本表面科学会講演大会 | 2009 | 極低加速電圧SEMによる材料観察の進展 |
国内学会 | 2010年表面技術協会ナノテク部会 | 2010 | ナノ材料開発における分析・解析技術 |
国内学会 | 2011年日本表面科学会講演大会 | 2011 | 鉄鋼材料の進歩に対して表面分析が果たした役割 |
国内学会 | 2011年熱処理技術協会講演大会 | 2011 | ULV-SEMによる金属材料微細構造解析の最前線 |
国内学会 | 2012年応用物理学会講演大会 | 2012 | Arイオン照射によるZr酸化物の損傷 |
国内学会 | 2012年日本表面科学会 第32回表面科学学術講演会 |
2012 | Arイオン照射によるZrO2 の損傷 |
国内学会 | 応用物理学会 先進パワー半導体研究会 第20回講演会 企業展示 |
2012 | 原子スケールからマクロスケールまで構造サイズに合わせた電子顕微鏡技術 |
国内学会 | 群馬県分析研究会 第37回研究発表会 |
2013 | 電子顕微鏡を用いた材料のナノ構造観察の最前線 |
国内学会 | 2013年顕微鏡学会 | 2013 | 表面・界面分析のための極低加速電圧走査電子顕微鏡法の活用例 |
国内学会 | 応用物理学会 先進パワー半導体研究会 第22回講演会 |
2013 | Cs補正STEMを用いたゲート酸化物/SiC界面におけるCの状態解析 |
国内学会 | 応用物理学会 先進パワー半導体研究会 第22回講演会 |
2013 | 原子スケールからマクロスケールまで構造サイズに合わせた電子顕微鏡技術 |
国内学会 | 希土類学会 第30回希土類討論会 |
2013 | Cs補正STEMを用いたネオジム磁石における粒界相の原子スケール構造解析技術 |
国内学会 | 応用物理学会 先進パワー半導体分科会 第2回講演会第2回講演会 |
2014 | 電子顕微鏡によるからマクロから原子スケールまで構造サイズに合わせた界面観察技術 |
作業の流れ
関連ページ・関連リンク
- Web立会システムの刷新 [事例集PDF]
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