物理分析
試料調整
ページ内メニュー
試料調整
- 様々な材料（鉄鋼・非鉄金属、セラミックス、半導体、ポリマー、薄膜・表面処理など）の断面研磨、FIB加工、アルゴンイオンビーム加工、ミクロトームなど、原子スケールからマクロスケールまでの分析に適した試料調整を行います。
- ダメージの入りやすい高分子材料に適したFIB､リチウムイオン二次電池材料やネオジム磁石では必須の大気非暴露での調整にも対応いたします。
試料調整方法とその特徴
| 試料調整 | 用途・特徴 |
|---|---|
| 集束イオンビーム加工（FIB） | ・特定領域からのSEM、TEM用試料作製ができます。 |
| デュアルビーム加工（FIB-SEM) | ・SEM機能を併用することで、SEM、TEM観察用試料の正確な仕上げ加工が可能です。Cs補正STEM観察には必須です。 ・クライオ機能により、イオンビームダメージの入りやすい材料の加工も可能です。 |
| ウルトラミクロトーム加工 | ・イオンダメージを受けやすい試料のSEM、TEM観察に適します。 |
| アルゴンイオンビーム加工 | ・SEM断面観察、EPMA・EDX分析、EBSD解析のための広範囲な断面作製に最適です。 |
| クライオアルゴンイオンビーム加工 | ・低温での加工により、ダメージの入りやすい材料（ポリマー、化合物半導体など）のダメージフリー加工が可能です。 |
| 電解研摩による薄膜法 | ・広範囲で金属組織をTEM観察する時の基本的な試料調整方法です。 |
| レプリカ作製 （抽出法、二段法） |
・金属中の数nm以上の析出物だけをTEM観察するための試料調整方法です。 |
| 各種研磨（機械研磨、化学研磨、電解研磨） | ・SEM, TEMの試料作製の基本技術です。デリケートな後方散乱電子回折(EBSD)測定用の仕上げ研磨にも対応しています。 |
| イオンミリング加工 | ・SEM観察のための広範囲な平滑面出しに最適です。 |
| 各種コーティング | ・試料表面保護や導通確保のため蒸着します。無電解めっき処理も対応可能です。 |
| 大気非暴露加工 | ・リチウムイオン二次電池、キャパシタ、ネオジム磁石など、反応性の高い試料を大気非暴露環境下で加工・移動することで、本来の構造を保った微細構造解析が可能となります。 |
作業の流れ
関連ページ・関連リンク
- 加工ダメージを軽減するクライオ機能搭載FIB
- 大気非暴露でのFIB加工「SEM用、TEM用」
- 大気非暴露アルゴンイオンミリング加工(CP) 「SEM用、トランスファーベッセル対応」
- 大気非暴露環境におけるX線回折結晶構造解析
- 電子顕微鏡試料の受託加工 [事例集PDF]
- 凍結ミクロトーム切断した樹脂断面のULV-SEM観察 [事例集PDF]
- イオン液体を利用したSEM観察技術 [事例集PDF]
- ガラス、セラミックスの硬度測定 [事例集PDF]
- 大気非暴露断面イオンミリング加工による 電池材料の断面観察 [事例集PDF]
- クライオ断面イオンミリング加工によるセパレータの断面観察 [事例集PDF]
- クライオ機能を活用した電子顕微鏡観察用の試料作製技術 ～クライオミクロトーム/クライオイオンビーム加工技術～
- 微細構造を明らかにする物理解析（14） ～生物試料のFIB断面SEM観察～
- 微細構造を明らかにする物理解析（5）～3次元構造を調べるFIB-SEM～
- 電池材料の物理解析技術（1） ～リチウムイオン二次電池材料など嫌気性材料の大気非暴露下断面SEM観察～
JFE-TEC Newsバックナンバー
- No.34（2013年1月）クライオ機能を活用した電子顕微鏡観察用の試料作製技術 ～クライオミクロトーム/クライオイオンビーム加工技術～
このページに関する
お問い合わせはこちらから
- JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部
- 0120-643-777
