形態観察

表面形態・構造観察のための物理分析

評価目的や観たい内容によって解析手法を適切に選択することで必要なスケール（ミクロ／マクロ、ナノスケール）での表面形態(粗さの定量、組成・化学状態・結晶状態）や構造を明瞭に観察することができます。

また明瞭かつ真の材料断面観察に必要な低温（クライオ）又は、大気非暴露環境下での試料調整・加工も対応いたします。

走査電子顕微鏡

レーザー顕微鏡・3次元粗さ計、SPM

断面・微細構造観察のための物理分析

ナノレベルから原子スケールでの材料断面などの微細構造解析について、適切な透過電子顕微鏡(TEM)に、高角度暗視野（STEM-HAADF）法、明視野（BF）法、環状明視野（ABF）法、高分解能透過電子顕微鏡（HR-TEM）法などの観察や、エネルギー分散型X線分析（EDX）、電子エネルギー損失分光分析（EELS）を駆使して、総合的に評価して対応いたします。

集束イオンビーム（FIB）、電解研磨などによる観察用試料調整、低温（クライオ）や非暴露条件でのFIB加工も可能です。

低温での観察・ローレンツ顕微鏡、3Dトモグラフィが可能です。

透過電子顕微鏡