物理分析

結晶構造解析

バルクの平均構造解析

対応する解析手法	特徴	実例
X線回折法（XRD）	物質同定・結晶構造決定が可能です。（XRD）結晶構造の精密化を行います。（XRDリートベルト解析、XAFS、EXAFS）結晶配向性・集合組織を測定いたします。（XRD極点図）残留応力・転位密度の測定が可能です。（XRD）環境制御、insitu測定、非暴露測定が可能です。化学結合状態分析をお引き受けします。（XAFS、XANES）	XAFS
X線吸収分光法（XAFS、EXAFS）		XAFS

対応する解析手法	特徴	実例
電子回折法（ED）：TEM、Cs補正STEM	物質同定・結晶構造決定が可能です。（電子回折、ラマン分光）微小部分析が可能です。（10nm以上：TEM、1μm以上：ラマン分光）ナノスケールの分析が可能です。（1nm：Cs補正STEM）微小部（30nm以上）の結晶相分布・方位分布・応力分布の測定が可能です。（EBSP）応力測定が可能です。（ラマン分光）	TEM TEMによる窒化ほう素の結晶性の解析ラマン分光共焦点法によるSiCエピ層における応力分布石炭の黒鉛化度の評価 Ni基合金表面の酸化皮膜の同定鉄さびの同定
後方散乱電子パターン（EBSP（EBSD））
ラマン分光法（RS）

対応する解析手法

特徴

実例

TEM

ラマン分光