No.51「【最新技術紹介】可搬型膜厚プロファイル測定装置（Line-FiDiCa）」

内部に使用している心臓部のイメージング分光器は、小型軽量な廉価タイプを採用しましたが、高価な分光器に対して劣る波長分解能を、スリット幅を細くすることでほぼ遜色無い程度まで解消しました。

問題となるのは光量不足によるS/Nの低下です。Line-FiDiCaでは、このS/Nの低下を、数百枚の画像を積算することにより解消しました。この機能により、反射率の低い測定対象などではLine-FiDiCaの方が高い膜厚測定精度を実現できることになりました。

Line-FiDiCaで測定したシリコンウエハ上の酸化膜の膜厚プロファイルを図1に示します。1320点の膜厚値を連続表示することにより、膜厚の細かな変動も捉えられていることが分かります。

なお、照明やPCは別体として設置することになりますが、専用の線状光源が不要であり、市販のハロゲンランプをスリット窓に当てるだけでよく、ノートPCが使用可能であるため、初めての方でも導入しやすい構成となっています。

ご興味のある方は是非お気軽にご相談ください。