微小領域分析EPMAによる介在物/   析出物の元素マッピング

写真は、最新型のEPMA(Electron Probe Microanalyzer)で調べた、鋼中の約2μmの小さな介在物/析出物内の元素分布マッピング像です。各元素の存在量は色分けで示されており、赤い部分が最もその元素が多く存在する部分、少なくなるにつれて黄色、緑、濃紺へと変化します。
高輝度電子銃(LaB6)搭載による空間分解能の向上によりサブミクロンオーダーでの分析が可能になり、介在物/析出物の中で酸化物(Mn,Si,Ti(MnS)が共存している様子を視覚的に把握することができます。
この分析に用いたEPMAは以下のような特徴をもっており、金属,無機・複合材料、電子材料の微少領域の組成、元素分布などの分析に力を発揮しています。

  • 微少域分析能力の向上(高輝度電子銃搭載により空間分解能向上:例 Al2O3 0.5μm)
  • 高精度マッピング(高精度駆動系により0.01μmステップのマッピングが可能)
  • 軽元素分析感度向上(B,C,N,O用人工累積膜の搭載)
  • 湾曲試料の面分析(追従型オートフォーカスによりステージが形状に沿って駆動)

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JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部