最新鋭走査電子顕微鏡(ショットキー)  による高感度観察

写真はSiウェハ上に付着した有機物を無蒸着でショットキーFE-SEMを用いて極低加速電圧100Vで観察した結果です。(撮影倍率5,000倍)。有機物表面の微細形態と僅かな組成変化を反映していると考えられるコントラストが鮮明に現れています。
従来のSEMで用いられている範囲の加速電圧15kvで観察すると、写真2に示すように極表面の形態を鮮明に観察できません。これは加速電圧が高いため電子線の進入領域が深くなり付着物の内部の情報まで観察することになったためです。加速電圧を1kVに下げて観察しても有機物の表面でチャージアップを起こし、表面形態を知ることが困難でした。(写真3)

ご参考までにここで観察に使用したショットキーFE-SEM(ドイツLEO社製GEMINI 1530VP)の特徴をご紹介します:

1)加速電圧100Vからの観察が可能で極表面観察に最適。
2)低真空機能の付加により、絶縁資料の高加速電圧(~30kV)による形態観察と元素解析が可能。
3)ガラス、紙、プラスチック、樹脂、インキ、塗料、フィルムなどあらゆる試料の無処理観察が容易に可能

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JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部