物理分析
活物質粒子表面コーティングの高感度EDX分析
影が出ない高感度EDX分析により活物質粒子表面のコーティングや付着物の分布を忠実に可視化します。
試料直上型検出器による反射電子・EDX*高感度イメージング**
当社のFE-SEMに、試料直上に配置し高感度反射電子検出器と一体化した高感度EDX検出器(Oxford Instruments社製Unity)を導入しました。凹凸のある試料では、従来のEDX検出器では避けることのできなかった影(分析できない領域)のない、試料表面の元素分析を実現しました。粒子表面のコーティング層や不純物の分布を正確に把握することが可能です。
* EDX: Energy Dispersive X-Ray Analysis (エネルギー分散型X線分光) ** BEXイメージング
二次イオン電池正極材表面のコーティング分布
二次イオン電池のサイクル特性向上のために電極材粒子表面にコーティングする技術が検討されています。LiNbO系コーティングを不均一に施したLiCoO正極材の元素分布を下図に示します。Nbの分布からコーティング材の存在位置を把握できます(a)。従来EDXのように分析できない領域がほとんどありません(b)(c)。低頻度に存在する不純物も見逃しません(b)。
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試料直上型検出器 従来型の高感度検出器
従来型検出器の結果(c)には、分析できていない領域を矢印で例示している
(Nb(赤)、Co(青)、不純物元素(黄等))
(測定ご協力: Unity分析事例 オックスフォード・インスツゥルメンツ株式会社 )
紹介動画 リアルタイムイメージング
正極材表面のコーティングのLiCoO粒子を高感度EDX検出器(Unity)により観察
作業の流れ

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