活物質粒子表面コーティングの高感度EDX分析

試料直上型検出器による反射電子・EDX*高感度イメージング**

当社のFE-SEMに、試料直上に配置し高感度反射電子検出器と一体化した高感度EDX検出器（Oxford Instruments社製Unity）を導入しました。凹凸のある試料では、従来のEDX検出器では避けることのできなかった影（分析できない領域）のない、試料表面の元素分析を実現しました。粒子表面のコーティング層や不純物の分布を正確に把握することが可能です。

* EDX： Energy Dispersive X-Ray Analysis （エネルギー分散型X線分光）　** BEXイメージング

二次イオン電池正極材表面のコーティング分布

二次イオン電池のサイクル特性向上のために電極材粒子表面にコーティングする技術が検討されています。LiNbO系コーティングを不均一に施したLiCoO正極材の元素分布を下図に示します。Nbの分布からコーティング材の存在位置を把握できます（a)。従来EDXのように分析できない領域がほとんどありません（b）（c）。低頻度に存在する不純物も見逃しません（b）。

（測定ご協力： Unity分析事例　オックスフォード・インスツゥルメンツ株式会社 ）

紹介動画　リアルタイムイメージング

正極材表面のコーティングのLiCoO粒子を高感度EDX検出器（Unity）により観察