ニュース
2022年06月17日
2022年7月1日(金)13:40〜『アペルザTV』への出演いたしました。
新技術!光干渉式膜厚計機による「薄膜・ウェハ厚の精密測定」
――2000点分を一瞬で撮影!高品質半導体の製造を実現するカギ
この度、ものづくりや研究開発に携わる技術者のためのデジタル放送局『アペルザTV』への出演いたしました。
今回は同番組の特別イベント『半導体・電子部品製造 LIVE 2022 Summer』のなかで、『新技術!光干渉式膜厚計機による「薄膜・ウェハ厚の精密測定」』というテーマで対談形式でお話ししました。
オンデマンド配信
https://tv.aperza.com/watch/598
※Internet Explorerではご覧いただけません(Microsoft EdgeやChromeをご利用ください)
概要
近年需要増加が止まることのない半導体。しかし、半導体に欠かすことができない膜厚を測定する機能は不十分な状況です。そのような状況に一石を投じたのがJFEテクノリサーチが販売する『光干渉式膜厚計機』。過去にない精度で膜圧やウェハ厚を精密に計測したいと考えている方は必見です。新技術の魅力をお見逃しなく。
こんな方におすすめです
- 半導体の開発、製造、検査プロセスにおける、膜厚やウェハ厚分布が不均一なことにお悩みの方
- 加工や成膜の際の膜厚確認のための研磨、エッチング、成膜装置を行うメーカー
apérza TV Award 2022 「半導体・電子部品製造」部門で3位入賞
本動画が、apérza TV Award 2022 「半導体・電子部品製造」部門で3位入賞いたしました。詳細はこちらから
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