セミナー
2021年01月27日
膜厚分布測定装置FiDiCa®セミナー(Webinar)
当セミナーは終了いたしました。多数のご参加を賜り、ありがとうございました。
平素は格別のお引き立てをいただき、誠にありがとうございます。
近年、薄膜を用いた技術の進展は著しく、半導体や電子デバイス、ディスプレイなどに用いられる光学フィルム、機械部品の表面機能化など、我々の身の回りにあるあらゆるものに応用されています。
薄膜の厚みを正確に制御することは、これらの技術において最も重要な課題であり、そのためには薄膜の厚み分布を正しく測定する技術が必要不可欠となります。
当社で独自開発した膜厚分布測定装置FiDiCa®(フィディカ)は、薄膜の厚みを高速、高精度に隙間なくマッピングできる、これまでにないコンセプトの装置です。二次元で膜厚の分布を可視化することにより、厚みの違いが原因で発生していた品質のバラツキや不良を即座に検出することができ、歩留まりや品質の向上、生産過程における課題解決などに大きく貢献します。
本セミナーではFiDiCa®の原理と測定事例をご紹介し、FiDiCa®を使用することにより、これまでの開発や生産管理がどのように変わっていくかのポイントを解説します。
膜厚分布測定装置FiDiCa®セミナー【Webinar】開催概要
- 開催日時:
- 2021年1月27日(水)13:30~14:45
- 会 場:
- Webセミナー(参加費無料)
スケジュール
13:00~13:05 | 注意事項の説明 |
13:35~14:05 | 基調講演 「圧電薄板が切り拓くSAW/BAW素子の新展開」 [千葉大学 教授 橋本 研也 様] |
14:05~14:30 | 膜厚分布可視化で世界の見え方が変わる!膜厚分布測定機FiDiCa®の応用事例 ~フィルム、半導体から液膜まで~ [JFEテクノリサーチ株式会社 計測システム技術センター 近藤孝司] |
14:30~14:45 | 事前質問への回答 |
終了 |
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事務局
JFEテクノリサーチ株式会社 東日本第3営業部 矢後 直樹
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