No.67「【Topics】知多地区に最新型の極低加速電圧走査電子顕微鏡（ULV-SEM）を導入します」

当社知多ソリューション本部では、物理解析設備の強化を図ります。従来より国内で先駆けてサービス展開を行った極低加速電圧走査電子顕微鏡（ULV-SEM）の最新型を導入、2021年10月よりサービス展開を行います。導入機種は、国内1号機となるCarl Zeiss社製　GeminiSEM460（写真1）です。極表面の形態観察、EDS分析に向いており表面反応に関する材料等の解析に非常に有効なツールです。本SEMは、①低加速電圧でも通常のFE-SEMと比べて高い解像力、高いコントラストでのイメージングを実現、②あらゆるサンプルにフレキシブルに対応可能である点が大きな特徴になります。また高感度のEDSを備え極表面の元素分布観察にも優れています。写真2には、極低加速電圧（500V）で観察したメソポーラスシリカのInlensSE像を示します。特徴的な極表面のポーラス構造が鮮明に捉えられています。本SEMによる観察例や解析などお気軽にお問い合わせ下さい。