太陽電池評価
太陽電池の調査分析
太陽電池の調査分析
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太陽電池を構成する部材（シリコン系半導体、電極など）の微細構造解析が必要な場合、試料調製から必要な物理解析や化学分析に対応しております。
- 試料調整（精密断面加工）
- SEM観察（結晶構造解析など）
- 電界放出型電子線 マイクロアナライザ (FE-EPMA）による観察
- 収差補正型透過走査 電子顕微鏡（Cs補正STEM）による観察
- フーリエ変換赤外分光高度計（FT-IR）による分析
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モジュール劣化部断面観察例
調査分析の詳細
| 調査・分析項目 | 対応サンプルサイズ | 条件詳細 | 注意事項 特記事項 |
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|---|---|---|---|---|
| 外観写真 | ||||
| 試料調整 (精密断面作製) |
クライオFIB | 最大30mmΦ×高さ15mm (仕上げ加工のみクライオ使用の場合) |
加速電圧：0.5～30kV。 最低凍結温度-192℃ （液体窒素冷却ガス循環） |
加工条件 要ご相談 |
| クライオ 断面イオンミリング加工 |
最大10mm幅×10mm長さ×4mm厚さ | 試料表面が平滑である必要有り。 (加工性、熱伝導性のため)。 |
加工条件 要ご相談 |
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| SEM観察 | SEM観察-EDX分析 | 最大300mmΦ×110mm(H)，5kg (観察領域は200mmφ) |
大型試料、低真空モード、低加速観察, 分析、高分解能観察対応可能。 |
観察条件等 要ご相談 |
| 3D-SEM | 最大30mmΦ×高さ15mm (加工、観察領域は数μm□) |
FE-SEM加速電圧：0.1～30kV。 SEM像分解能1.9nm@1kV。 |
加工間隔、領域 要ご相談 |
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| EBSD測定 | 25mmΦ程度。その他も対応可能、要御相談 | 最大測定領域5mm×10mm。 | 解析項目等 要ご相談 |
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| EPMA | 最大90mm□程度。 | FE-EPMAによる高分解能観察可能。 | ||
| TEM/SEM | 3mmΦ薄膜試料 | EDX分析、EELS分析可能。 Cs補正STEMによる高分解能観察可能。 |
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| FT-IR分析 | 最大50mm□ | ATRイメージング、近赤外IR可能。 | ||
分析事例
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