高純度金属、電子材料などの極微量分析

電気加熱原子吸光法による極微量分析の概要

各種材料中の不純物や混入物のppmからppb、pptまでの極微量定量分析ニーズにお答えします。
当社では電気加熱原子吸光装置をクリーンルーム内に設置して極微量分析に対応しています。

電気加熱原子吸光法の特長

• 高濃度試料は極少量の試料で、極低濃度試料は濃縮法によりppbレベル（元素によりppt）の分析が可能です。
• 懸濁液、乳濁液のような完全な溶液でない液体試料も分析が可能です。
• 生体試料、その他の有機物質の試料溶液も高感度分析が可能です。

分析事例

• 窒化アルミニウム中のFe、Crの分析

  試料を硫酸で加圧分解し、その分解液を直接電気加熱原子吸光装置に注入し分析した。

  単位：μg/g

  試料	A	B	C
  Fe	8.0	1.0	-
  Cr	0.6	0.6	4.3

• オイル中の微量Asの分析

  ボンベ内でオイルを燃焼させ、硝酸マグネシウム溶液に吸収させた液を分析した。

  単位：μg/g

  試料	A	B	C	D
  As	< 0.5	< 0.5	< 0.5	29

• 石英、ガラス中の不純物分析

  試料を粉砕し、ふっ化水素酸及び硝酸で加圧酸蒸気分解後、分析した。

  単位：μg/g

  試料	A	B	C
  Fe	0.15	0.12	0.20
  Cr	< 0.05	< 0.05	< 0.05
  Ni	< 0.05	< 0.05	< 0.05
  Cu	< 0.01	< 0.01	< 0.01