No.21「微細構造を明らかにする物理解析（４）」

化学状態強調SEM像

極低加速電圧SEM（ULV-SEM：Ultra Low accelerating Voltage SEM）は、プローブ電子のエネルギーを100Vまで低くすることで、ナノメータレベルの極表面の高分解能観察が可能です。また、従来から行われている表面形状観察だけでなく、物質の違いに起因するコントラスト（化学状態強調SEM像）が得られることも、極低加速電圧SEMの特徴です。

EDXによる相解析

従来のEDX（エネルギー分散型X線分光法：Energy Dispersive X-ray Spectrometry）マッピングでは、元素ごとの分布しか得られませんでした。最新のものでは、マッピングした全点のEDXスペクトルを多変量解析することで、異なる元素からなる化合物相の分布が得られます。この手法により、化合物の分布を解析できるようになりました。

鉄さびの化学状態強調SEM 像とEDX相解析例

図は、室内に2ヶ月間放置した純鉄に生じた鉄さびの分析結果です。加速電圧500Vで観察した化学状態強調SEM像とEDX相解析結果（上中：鉄相、上右：鉄さび相）とを示します。下段のEDXスペクトルから、鉄相にはFeだけが存在し、鉄さび相にはFeとOとが存在することが確認できます。このSEM像とEDX相解析結果を比べると、化学状態強調SEM像の明るい部分が基材の鉄相で、暗い部分が鉄さび相であることが明らかです。極低加速電圧SEMと低加速EDXの組み合わせにより、従来のSEMを超え、表面分析装置（AES、XPS、SIMS）より手軽にナノメータレベルの表面の形態・元素分布・化合物分布の解析が可能となりました。
　当社では、極低加速電圧SEMをはじめとした解析技術により、さまざまなナノ材料の研究開発のお手伝いをいたします。