デュアルビーム走査電子顕微鏡（FIB搭載SEM）

デュアルビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM）の特長

複雑な3次元構造（※）を持つ材料の立体構造を明らかにします

FIB加工ができる極低加速電圧走査電子顕微鏡（ULV-SEM）では次のようなことが可能です

• 高分解能反射電子、EDX分析、EBSDの3D構築（金属、セラミックス、生体組織）
• 低ダメージ加工：クライオステージ
• 非暴露条件での加工・観察
• その場観察・分析⇒対象：燃料電池、磁石など

当社が使用する機器の主な仕様

Carl Zeiss社製Auriga

• SEM機能：GEMINIカラム使用

  • 加速電圧：100V～30kV
  • SEM検出器：二次電子、反射電子、STEM
  • EDX検出器
  • EBSP検出器

  FIB機能

  • 加速電圧：1～30kV

• 

FEI社製Versa 3D LoVac

• FIB機能

  • ビーム径：5nm@30kV
  • 加速電圧：0.5～30kV

  SEM機能

  • 加速電圧：0.2～30kV

  オプション：クライオ試料加工

  • Quorum社製 PP3000T型
    クライオ機能と雰囲気制御機能
    最大冷却温度：-192℃
  • 真空モードSEM

• 

観察事例

• FIBとULV-SEMの組み合わせによる複合粒子・フィラーの3D観察
• FIB-ULV-SEMを用いた色素増感太陽電池（有機太陽電池）における発電層（ZnO・色素複合層）の観察