電子エネルギー損失分光法(EELS)

電子エネルギー損失分光法(EELS)の概要

EELSでは、空準位の伝導帯の状態密度を反映したスペクトルが得られるので、化学結合状態の分析が可能です。例えば、炭素に関しては、sp2結合(グラファイト的)とsp3結合(ダイアモンド的)とで、ピーク形状が異なるので、状態の違いを調べることができます。なお、電子の充満している準位を測定しているXPSとは、相補的な分析法と言えます。

図 DLC皮膜のTEM-EELS測定例。 EELSスペクトル
図 DLC皮膜のTEM-EELS測定例。 EELSスペクトル

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JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部