光波応用計測装置

光応用計測装置の概要

電磁波の様々な波長帯、すなわち、X線から紫外線、可視光、赤外線、電波領域などの光波を使用すると、各種材料の特性やプロセスの状態、寸法・形状、温度、濃度など多くの情報を測定することができます。

測定対象に非接触で測定場に影響、外乱を与えることなく測定することができるので多くの手法が実現されており、当社でも様々な装置を提供することができます。

各種製造業の製品検査やプロセス計測、材料特性や異常解析、製品やプロセスの研究開発に有効になる様々な計測・検査機器を実用化しています。

また、お客様のご用途やご要望に応じて新しい装置やシステムを開発し、ご提供することも可能です。

半導体検査、極薄被膜や板厚の計測、微量物質の検出、赤外線や画像を利用した温度計測、分光画像を利用した状態計測、美容や医療での利用が可能となる肌解析、赤外線を利用した応力解析など多くの事例があります。

応用例

• ウェハ積層欠陥検査装置
• 膜厚分布測定装置FiDiCa®
• 微量物質検出装置
• 赤外線、画像利用温度計測装置
• ハイパースペクトルカメラ
• イメージング分光システム
• 肌解析装置
• MEMS応力観察装置 IRSM-001
• 赤外線応用検査システム熱画像処理ソフトウェア