微小部X線分析装置による元素の広域定性・定量マッピング

微小部X線分析装置（µXRF）の特長

µXRF（微小部蛍光X線分析装置）では、X線を試料に照射し、試料から発生する固有の蛍光X線を測定することで、試料が構成されている元素を分析します。非均質または不規則な形状のサンプル、または小さなサンプルや含有物の元素分析を行うための方法です。

非破壊で大面積の迅速スクリーニング分析ができます。ご希望位置のピンポイント測定の他、広範囲の元素分布を視覚的に評価できます（元素マッピング）。

特に凹凸の影響を受けにくいため、成形品や反りや湾曲のあるサンプルにも適用可能です。当社独自技術である、適切な標準試料や補正を施すことで精度の高いマッピング像が取得できます。

• 検出可能元素	C～ Am（多元素同時分析）
  最大マッピング領域 注1）	100×100 mm（15×15 mm） 注2）
  最大のマッピング空間分解能	100µm（20µm） 注2）
  最大試料サイズ	300×250×80mm　1kg
  検出可能元素濃度	>0.1％ 注3）

  注1）1回の測定で得られる最大のマッピング面積のことを示します

  注2）20µm空間分解能を得られる条件下では、1回の測定で得られる最大のマッピング面積は15×15mmです

  注3）軽元素（C～Cl）の検出可能濃度は0.1％より高くなる場合がございます

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測定事例

アルミダイカスト製品の元素マッピング分析

• 大面積のダイカスト材を破壊することなく、元素分布を評価しました。

  光学像で確認された模様に対応する形でSi、CuおよびFeが分布することが分かりました。

  光学顕微鏡写真

  

• 元素マッピング像

  

鋼板表面の酸素量分布

鋼板表面を酸化させた酸化被膜の酸素量を定量マッピングにより評価しました。試料の黒色部分は著しく酸化された部分であることが分かりました。

• 光学顕微鏡写真

  

• 酸素量分布（補正後）

  

事例集

• 広範囲の元素マッピング
  • 微小部X線分析装置による元素の広域定性・定量マッピング [事例集PDF]
• 粒子解析
  • 微小部X線分析装置による粒子解析 [事例集PDF]
• 生体試料の元素イメージング
  • 微小部X線分析装置による生体試料の元素イメージング [事例集PDF]
• 電池材料中の不純物分析、劣化解析
  • 微小部X線分析装置による液LIB負極の不純物分析 [事例集PDF]
  • 固体高分子形燃料電池用GDL表面の高速元素マッピング～固体高分子形燃料電池の劣化解析（MEAの汚染）～ [事例集PDF]