XPSを用いた非晶質WO3薄膜の電子状態解析

解析事例

XPS(X線光電子分光法)によるアモルファスWO3薄膜の電子状態の解析事例です。

装置、分析法の概要

  • XPSを用いると、数nm程度の最表面の元素の化学結合状態の分析が可能です。Arイオンスパッタと組み合わせて、深さ方向分析が可能です。

データの説明

  • アモルファスWO3薄膜にLiを電気化学的に注入すると、6価のWの一部が5価に変化し、発色します。
    この電子状態変化がXPSスペクトルに現れています。
アモルファスWO3薄膜のW4f XPSスペクトル XPS装置:SSI, SSX100
アモルファスWO3薄膜のW4f XPSスペクトル
(a)透明なもの:成膜まま
(b)青色発色したもの
XPS装置:SSI, SSX100

作業の流れ

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JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部