AESを用いた鋼板上のSi酸化物/金属Si深さ方向分析

分析事例

AES（オージェ電子分光法）による表面酸化物層の深さ方向分析の事例です。

装置、分析法の概要

• AESを用いると、数nm程度の最表面の元素の分析が可能です。Arイオンスパッタと組み合わせて、深さ方向分析が可能です。

データの説明

• 希硫酸中で腐食させたSi添加鋼の表面酸化物層のAESによる深さ方向分析により、Si酸化物が表面に生成していることがわかります。SiLMM AESスペクトルの化学シフトを利用して、酸化物Siと金属Siを分離しました。

腐食前後でのSi添加鋼における表面酸化物層のAESによる深さ方向分析