AESを用いた鋼板上のSi酸化物/金属Si深さ方向分析

分析事例

AES(オージェ電子分光法)による表面酸化物層の深さ方向分析の事例です。

装置、分析法の概要

  • AESを用いると、数nm程度の最表面の元素の分析が可能です。Arイオンスパッタと組み合わせて、深さ方向分析が可能です。

データの説明

  • 希硫酸中で腐食させたSi添加鋼の表面酸化物層のAESによる深さ方向分析により、Si酸化物が表面に生成していることがわかります。SiLMM AESスペクトルの化学シフトを利用して、酸化物Siと金属Siを分離しました。
腐食前後でのSi添加鋼における表面酸化物層のAESによる深さ方向分析(a)
(a)受け入れまま
腐食前後でのSi添加鋼における表面酸化物層のAESによる深さ方向分析(b)
(b)腐食試験後
腐食前後でのSi添加鋼における表面酸化物層のAESによる深さ方向分析

関連リンク・関連記事

作業の流れ

作業の流れ

このページに関するお問い合わせはこちらから

  • お問い合わせ
  • ご依頼の流れはこちら

JFEテクノリサーチ株式会社 営業本部