ULV-SEMによる多角形型微粒子の解析

多角形型微粒子の正確な表面性状評価を実施いたします。

極低加速電圧走査型電子顕微鏡(ULV-SEM)が有する高い分解能と最表面形状に対する感度により、通常のSEMでは観察困難な多角形型微粒子の精密な形状観察を行います。

多角形型微細粒子の解析

通常のSEMで多角形粒子を観察すると、加速電圧が高いために電子線が粒子のエッジを透過して像がぼやけてしまいます。一方、極低加速電圧(ULV)-SEMを用いて観察すると、加速電圧が低いため電子線透過が軽減されてエッジがシャープな像が得られ、表面状態の解析が可能となります。

ULV-SEM

ULV-SEMの多角形粒子観察

エッジがシャープ

通常-SEM

通常SEMの多角形粒子観察

エッジがあいまい

BaTiO3粒子:狩野先生(岡山大学)ご提供

極低加速電圧SEM装置と特徴

装置

  • カールツァイス社製 ULV-SEM ULTRA PLUS
  • サーモサイエンティフィック社製EDS

特徴

  • 極表面構造観察絶縁物の無処理観察
  • インレンズ二次電子検出器、アウトレンズ二次電子検出器
  • インレンズ反射電子検出器、アウトレンズ反射電子検出器
  • 極低加速電圧における超高分解能(1.7nm:1kV、4.0nm:100V)
  • 帯電中和機構
  • 高分解能EDS分析
  • 高分解能粒子解析

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