ULV-SEMによる多角形型微粒子の解析

多角形型微細粒子の解析

通常のSEMで多角形粒子を観察すると、加速電圧が高いために電子線が粒子のエッジを透過して像がぼやけてしまいます。一方、極低加速電圧（ULV）-SEMを用いて観察すると、加速電圧が低いため電子線透過が軽減されてエッジがシャープな像が得られ、表面状態の解析が可能となります。

• ULV-SEM

  

  

• 通常-SEM

  

  

BaTiO3粒子：狩野先生（岡山大学）ご提供

極低加速電圧SEM装置と特徴

• 装置

  • カールツァイス社製 ULV-SEM ULTRA PLUS
  • サーモサイエンティフィック社製EDS

  特徴

  • 極表面構造観察絶縁物の無処理観察
  • インレンズ二次電子検出器、アウトレンズ二次電子検出器
  • インレンズ反射電子検出器、アウトレンズ反射電子検出器
  • 極低加速電圧における超高分解能（1.7nm：1kV、4.0nm：100V）
  • 帯電中和機構
  • 高分解能EDS分析
  • 高分解能粒子解析

•