薄膜・表面処理に関する分析

GaAs/AlAs超格子薄膜断面の模式図
GaAs/AlAs超格子薄膜断面の模式図

各種薄膜材料・表面処理材料の機能(摩擦・摺動・プレス性・耐食性・色調・電子物性・磁性・光学特性など)は、表面処理、薄膜皮膜の表面構造・皮膜構造、および界面構造によります。材料設計、故障解析のために必要な構造解析技術を提供します。

皮膜、表面

表面処理・薄膜皮膜の結晶形態、断面観察による被覆状態、積層状態の観察・組成・化学状態、結晶相・配向性を調、使用後、劣化後、各種機能性の評価後の皮膜変化を解析します。

形態観察

元素分析

化学状態分析

結晶構造解析

界面(表面処理・薄膜/母材・基板)、多層構造、合金層、拡散層、反応

表面処理皮膜・薄膜の多層界面、母材の界面形態の合金層・反応層・拡散層について解析します。

元素分析

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